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微型平面反射镜干涉仪

  • 产品名称:微型平面反射镜干涉仪
  • 产品型号:SP系列
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简单介绍
设计与操作: SP系列微型干涉仪为纳米级精密测长仪器。采用平面镜或具有光学特性的反射表面为靶镜,并允许有若干分的准直角度误差而不影响激光束的正常工作。利用光纤耦合技术将激光器与干涉系统隔离, 其微型激光传感测头与立体角锥棱镜可组成紧凑的测量系统平面镜运动产生的光学干涉信号通过光纤传输到光电信号处理与激光电源单元,经数据处理变为位移长度值。采用大范围动态稳频激光器与环境参数实时采集动

微型平面反射镜干涉仪

的详细介绍
设计与操作:
    SP系列微型干涉仪为纳米级精密测长仪器。采用平面镜或具有光学特性的反射表面为靶镜,并允许有若干分的准直角度误差而不影响激光束的正常工作。利用光纤耦合技术将激光器与干涉系统隔离, 其微型激光传感测头与立体角锥棱镜可组成紧凑的测量系统平面镜运动产生的光学干涉信号通过光纤传输到光电信号处理与激光电源单元,经数据处理变为位移长度值。采用大范围动态稳频激光器与环境参数实时采集动态修正技术,使测量分辨率达 1.24nm,干涉仪本身无线性误差。小巧的激光测量传感头与角锥棱镜可以方便地与用户的测量系统相结合,实现各种实验与测量任务。仪器既可以通过专用的键盘与显示器,也可以通过实现人机交互与测量。
用  途:
    
  • 移动平台、显微平台、定位平台、计量仪器以及机床的高精度激光干涉长度测量
  • 单/多轴精密工作台的位移测量
  • 机器床身的单/多轴定位
  • 机床或坐标测量机的校准
  • 振动、角度测量
  • 实现长度、角度同时测量
  • 非接触表面微轮廓测量
  • 各类高精度长度测量仪器与设备的研发
  • 主要技术参数:
     
  • 型号: SP Series SP120/SP2000
  • 测定距离范围(mm):120/2000 
  • 刻度分辨率(nm):1.24
  • 额定波长(nm):632.8
  • 激光预热时间(min):1/10-20
  • 传感器头尺寸(H*W*D):36*70*70
  • 光电信号处理单元尺寸(H*W*D)150*450*400
  • 键盘/显示单元尺寸(H*W*D)48*190*138
  • 通信模式:RS-232(串行)或IEEE-488(并行)
  • PC插板(可选):ISA-bus
  • 传感器头重量(g):200
  • 光电信号处理单元重量(g):9500
  • 键盘/显示单元重量(g):630
  • 电源:100-240VAC
  • 光纤长度(m):3m到25m(可选
  • 工作温度范围:15-30℃
  • 测量镜*大移动速率: 600mm/s
  • 主要工作特点:
     
  • 高精度的长度测量仪器
  • 易于调整,易于组成各种用户测量仪器与系统
  • 测量镜可以采用平面镜或其它反射性表面
  • 如果镜面或其它反射表面足够大,被测物件可以偏离光轴进行运动
  • 光纤耦合的传感测头,不产生热干扰
  • 采用防止电磁干扰的信号接收/传送元件
  • 采用高精度稳频的He-Ne激光作为长度基准
  • 浙公网安备 33020402000310号